[QMS] ISO 14644-3 시험방법

안녕하세요. GRC 인증원입니다.

클린룸 관련 규격인 ISO 14644-3 : 시험방법에 대해 알아보겠습니다. ISO 14644-3이란?

클린룸의 제어된 환경의 성능을 검증하기 위한 시험방법을 설명합니다. 공기청정도 등급, 온도, 습도, 기류, 차압 필터 누설 등 주요 매개변수에 대한 표준화된 시험방법을 규정합니다.

각 항목별 시험 방법은? 시험 항목 시험 목적 시험 방법 요약 공기 차압 시험 클린룸과 사용 환경 사이의 지정된 차압 유지 능력 검증 차압계(전자식, 경사, 기계식)로 구역 간 차압 측정, 안정화 된 상태에서 문, 창문 닫고 실시 기류 시험 클린룸/청정구역 풍속, 균일성 및 급기 풍량 측정 단일 방향류: 필터 인근 풍속 측정 비단일 방향류 : 급기 풍량 직접 측정, 열선/초음파/베인 풍속계 등 사용 기류 방향 시험 및 가시화 기류 방향, 속도의 균일성/설계/준수 입증 추적 실/입자, 영상처리, 에어로졸 발생기 등으로 기류 시각화 및 평가 회복 시험 오염 후 청정도 복귀시...