플라즈마 처리장치(APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE WITH PLASMA)
(19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 。Int. Cl. H01L 21/205 (2006.01) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2006년09월19일 10-0622860 2006년09월05일 (21) 출원번호 10-2004-0115468 (65) 공개번호 10-2006-0076855 (22) 출원일자 2004년12월29일 (43) 공개일자 2006년07월05일 (73) 특허권자 주식회사 에이디피엔지니어링 경기도 성남시 중원구 상대원동 333-5 (72) 발명자 이영종 경기도 성남시 분당구 야탑동 탑마을기산아파트 308동 1802호 최준영 서울특별시 양천구 신정3동 1283 푸른마을 아파트 306-704 이창근 서울 성동구 행당2동 322-116호 6/6 김..