(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2012년09월14일 (11) 등록번호 10-1183363 (24) 등록일자 2012년09월10일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
C23C 16/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2005-0013556 (22) 출원일자 2005년02월18일 심사청구일자 2010년02월10일 (65) 공개번호 10-2006-0042985 (43) 공개일자 2006년05월15일 (30) 우선권주장 04003928.1 2004년02월20일 유럽특허청(EPO)(EP) (56) 선행기술조사문헌 KR 10-0171627 B1 JP 06-277494 A US 4859375 A US 4582480 A (73) 특허권자 씨에스 크린 시스템즈.....
