(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2017년11월06일 (11) 등록번호 10-1785729 (24) 등록일자 2017년09월29일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/60 (2006.01) H01L 23/48 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0024060 (22) 출원일자 2011년03월17일 심사청구일자 2016년03월15일 (65) 공개번호 10-2012-0052844 (43) 공개일자 2012년05월24일 (30) 우선권주장 12/947,414 2010년11월16일 미국(US) (56) 선행기술조사문헌 JP2010141055 A* JP2009177061 A* JP2003526937 A* KR100691443 B1 *는 .....
원문 링크 : 반도체 소자 및 그 제조 방법(SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FORMING FLIPCHIP INTERCONNECT STRUCTURE)