1. Basic Assumption for ideal MOS capacitor (1) Oxide는 perfect insulator이다. (2) Oxide 내부나 표면에 charge가 존재하지 않는다. (3) Gate voltage가 0일 때, metal work function과 semiconductor work function의 값은 같다.
즉, gate voltage가 0일 때, 모든 band는 flat이다. 2. P-type MOS Capacitor Accumulation: (gate voltage<0) Gate side의 negative charge가 silicon side의 positive charge와 평형을 이루어야 하므로, silicon 표면에 hole이 유도된다.
이렇게 surface에 majority carrier가 유도되는 현상을 accumulation이라고 한다. Gate voltage가 음수이면, silicon side에서 다음과 같이 band bending이...
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MOS
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반도체
원문 링크 : MOS Capacitor (1)