Constant Field Scaling

Short channel effect를 최소화하면서도 소자를 작게 만들고자 한다. 이때 각각의 비율이 어떻게 되는지 논하는 것이 scaling rule이다.

먼저 lateral size를 1/k로 만들었다고 하자. (k>1) 그러면 short channel effect가 커진다.

만약 vertical size도 1/k로 만든다면, 이러한 현상을 막을 수 있다. Constant field scaling은 electric field의 크기는 그대로 유지하면서 scaling을 하는 것이다.

Electric field의 크기는 같으므로 carrier velocity는 이전과 같은 값을 갖고, size가 1/k배가 되었으므로, voltage도 1/k배가 된다. Depletion region에서의 전기장은 depletion region의 width와 doping concetration의 곱에 비례한다.

그런데 scaling을 하면서 depletion region의 width가 1/k배가 되었으...