[QMS] ISO 14644-1 클린룸 등급 분류 표준

안녕하세요. GRC 인증원입니다.

오늘은 ISO 14644-1- Part 1 : 입자 농도에 의한 공기 청정도 등급 분류에 대해서 알아보도록 하겠습니다. ISO 14644-1의 목적과 적용 범위 목적 : 공기 중 부유입자(0.1~5.0um)의 농도를 기준으로 클린룸의 청정도 등급 (ISO Class 1~9)을 분류합니다.

적용범위: 클린룸, 클린존, 분리장치(글로브박스 등) 등 입자 오염 제어가 필요한 모든 환경에 적용됩니다. 주요 내용 및 등급 체계 청정도 등급( ISO Class) 등급별로 허용되는 입자 농도는 ISO 14644 표준에서 제시된 수치 또는 공식으로 산출합니다.

입자 측정 및 분류 측정 대상: 0.1 ~ 5.0um 크기의 입자 측정 방법 : 광산란 방식의 입자 계수기를 사용하여 지정된 위치에서 시료 채취 후 농도 산출 샘플링 위치 : 클린룸 면적에 따라 표준에서 정한 공식으로 결정. 검증 : 지정된 등급에 부합하는지 정기적으로 시험 및 문서화 규정 준수 입증 등급 ...