(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2012년03월07일 (11) 등록번호 10-1114891 (24) 등록일자 2012년02월03일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/324 (2006.01) (21) 출원번호 10-2004-0112876 (22) 출원일자 2004년12월27일 심사청구일자 2009년12월28일 (65) 공개번호 10-2005-0067100 (43) 공개일자 2005년06월30일 (30) 우선권주장 JP-P-2003-00433357 2003년12월26일 일본(JP) (56) 선행기술조사문헌 KR1020020053760 A (73) 특허권자 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 일본국 가나가와켄 아쓰기시 하세 398 (72) .....
