(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2012년08월09일 (11) 등록번호 10-1172091 (24) 등록일자 2012년08월01일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/20 (2006.01) (21) 출원번호 10-2005-0093778 (22) 출원일자 2005년10월06일 심사청구일자 2010년10월05일 (65) 공개번호 10-2007-0038628 (43) 공개일자 2007년04월11일 (56) 선행기술조사문헌 US05909036 A* US20040185643 A1* *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 엘지이노텍 주식회사 서울특별시 중구 한강대로 416 (남대문로5가, 서 울스퀘어) (72) 발명자 최성철 전북 익산시 춘.....
