(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2013년01월14일 (11) 등록번호 10-1222196 (24) 등록일자 2013년01월08일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/027 (2006.01) B21D 31/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2011-0010199 (22) 출원일자 2011년02월01일 심사청구일자 2011년02월01일 (65) 공개번호 10-2012-0089071 (43) 공개일자 2012년08월09일 (56) 선행기술조사문헌 JP2010215471 A JP2003001658 A (73) 특허권자 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구 부산대학로63번길 2 (장전동, 부산대학교) (72) 발명자 이득우 부산광역시 .....
