클린룸(청정실) 환경 모니터링 및 관리에서의 경계수준(alert level, alert limit)과 조치수준(action level, action limit)을 설정하는 기준과 근거들에 대한 사항입니다. 1. 용어정의 1) alert level (경계 수준, 경고 수준, 주의 수준, 위험 수준) 제어 환경 내에서 사용자가 설정한 수준으로 초기에 정상 상태에서 벗어난 것을 조기에 경고하면서 초과하였을 때 공정에 대해 주의를 보다 강화시켜야 하는 수준 경계 수준이 초과되면 공정에 대해 주의를 보다 강화시켜야 한다. 2) action level (조치 수준, 행동 수준) 제어 환경 내에서 사용자가 설정한 기준을 초과하였을 때 원인 조사 및 시정 조치를 포함하여 즉시 개입이 필요한 수준. 2.
적용범위 부유입자, 차압, 온습도, 미생물(부유균, 낙하균, 표면균)등 클린룸의 환경을 관리하는 사항들에 대해 적용합니다. 모든 항목들에 대해 적용해야 할지는 모르겠지만 적어도 부유입자는 필수일 듯...
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actionlevel
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alertlevel
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경계수준
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경고수준
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조치수준
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주의수준
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청정실모니터링
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클린룸모니터링
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행동수준
