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하루에 한페이지씩 완벽하게 내것으로 scanner vs stepper scanner step & scan 방식 Scan speed = (Intensity x Slit)/Dose Scan time = Scan Length/Scan speed 5:1 축소 투영 노광 시 stepper에 비해 왜곡이 거의 발생하지 않는다. Stepper step by step 방식 Reticle stage는 Y축으로만 이동하고 Wafer stage가 X/Y으로 이동한다.
렌즈 전체에 빛이 들어와 왜곡이 발생한다....
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