[재해사례] 급성독성 물질 누출 사고사례

경북 소재 반도체 제조공정에서 작업자 2명이 TCS(트리클로로실란) 약품공급 캐비넷에 사용한 용기교체를 위해 이동식대차를 사용하여 이송작업하는 과정에 용기가 넘어졌으며, 용기 상부의 배관노즐 접합부가 손상되면서 TCS가 누출되어 근로자 7명이 병원 진료를 받은 사고임 ⊙ 사고발생물질 TCS(트리클로로실란)는 산업안전보건기준에 관한 규칙에 따른 급성 독성 물질이며, 누출 시 공기 중의 수분과 급격히 반응하여 염화수소를 생성하는 등 유해성이 높은 물질로 알려져 있으며, 이와 동시에 인화점이 -27로 낮고, 점화에너지 또한 0.017mJ로 낮은 수준이라서 누출 시 화재 · 폭발의 위험도 있는 물질임 물질명 CAS. NO.

분자식 인화점() 폭발범위(vol%) 비점() TCS(Trichloro Silane) 10025-78-2 SiHCI₃ -27 1.2~90.5 32 ⊙ 염화수소 생성반응 ⊙ 사고발생 과정 약품공급 캐비넷에 TCS용기 교체를 위해 작업자 2명이 대차를 사용하여 캐비넷으로 상...

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