TiN(타이나이트라이드) 박막 증착

웨이퍼에 TiN를 증착하려는데 요즘 많이곤란하다. 수원나노Fab 에서는 TiN 증착한다고 써놔서 메일드렸더니 정확히는 TiN가 아니라 Ti 이고, 낮은 저항성 등등 같아 참고만 하시라고 답장이 오셨다.

솔직히 같은 METAL 이고 통전만 되면 상관없을텐데 이미 논문을 TiN로 써서 ,, 그래서 반공연에 연락을 하면 답장은 느리고,, 과거 관련자료 TIN 증착했던거 검색해보니까 TiN를 Sputtering 하는 거 자체가 어렵다는 사람도있고.....