(19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 。Int.
Cl.7 H01L 23/04 (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2005년10월13일 10-0521920 2005년10월07일 (21) 출원번호 10-2003-0019180 (65) 공개번호 10-2003-0082377 (22) 출원일자 2003년03월27일 (43) 공개일자 2003년10월22일 (30) 우선권주장 JP-P-2002-00091521 2002년03월28일 일본(JP) (73) 특허권자 가부시끼가이샤 도시바 일본국 도꾜도 미나또꾸 시바우라 1쪼메 1방 1고 (72) 발명자 고모토사토시 일본국가나가와현가와사키시사이와이구고무가이도시바정1번지가부시 끼가이샤도시바마이크로일렉트로닉스센터내 (74) 대리인 .....
