(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2017년01월02일 (11) 등록번호 10-1692113 (24) 등록일자 2016년12월27일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/301 (2006.01) B23Q 11/08 (2006.01) H01L 21/76 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0152630 (22) 출원일자 2014년11월05일 심사청구일자 2014년11월05일 (65) 공개번호 10-2015-0060523 (43) 공개일자 2015년06월03일 (30) 우선권주장 JP-P-2013-242692 2013년11월25일 일본(JP) (56) 선행기술조사문헌 JP07117154 A JP2008264888 A JP20003461.....
