(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2014년01월23일 (11) 등록번호 10-1354516 (24) 등록일자 2014년01월16일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 33/22 (2010.01) (21) 출원번호 10-2013-7029628 (22) 출원일자(국제) 2013년02월18일 심사청구일자 2013년11월07일 (85) 번역문제출일자 2013년11월07일 (65) 공개번호 10-2013-0130090 (43) 공개일자 2013년11월29일 (86) 국제출원번호 PCT/JP2013/053813 (87) 국제공개번호 WO 2013/132993 국제공개일자 2013년09월12일 (30) 우선권주장 JP-P-2012-050199 2012년03월0.....
