(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2016년11월21일 (11) 등록번호 10-1677973 (24) 등록일자 2016년11월15일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/16 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-0073251 (22) 출원일자 2013년06월25일 심사청구일자 2015년07월31일 (65) 공개번호 10-2014-0004007 (43) 공개일자 2014년01월10일 (30) 우선권주장 JP-P-2012-148352 2012년07월02일 일본(JP) (56) 선행기술조사문헌 JP2001059178 A* KR1020070058439 A* KR.....
