(19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 。Int.
Cl. H01L 21/3063 (2006.01) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2007년02월15일 10-0682753 2007년02월08일 (21) 출원번호 10-2005-0067807 (65) 공개번호 10-2007-0013476 (22) 출원일자 2005년07월26일 (43) 공개일자 2007년01월31일 심사청구일자 2005년07월26일 (73) 특허권자 (주)에스티아이 경기 안성시 공도면 양기리 450-5 (72) 발명자 연창흠 경기 안성시 공도읍 진사리 쌍용 스윗닷홈 105동 1902호 곽선표 대구 달서구 대곡동 1012번지 삼성1차아파트 106동 404호 박경식 경기 군포시 금정동 충무주공2단.....
