*사진출처 : Google Dry Pump Maker : EDWARDS Model : IH1000 Condition : A급 Quantity : 문의 Unit Price : 문의 Edwards IH1000 드라이펌프 개요: Edwards의 첨단 반도체 진공 펌프는 현장에서 최고의 작동 기준을 충족하는 성능을 입증했습니다. 사용 수명 연장, 가동 시간 향상, 생산성 향상을 통해 신뢰성과 고성능을 달성하는 동시에 설치 공간과 소유 비용을 최소화합니다. iH 시리즈는 PECVD 및 LPCVD와 같이 미립자, 응축성 및 부식성 부산물이 발생하는 까다로운 공정에서도 높은 신뢰성을 제공합니다.
사양: Peak speed 1,000 m3h-1 589 cfm 16,670 lmin-1 Ultimate vacuum 1 x 10-3 mbar 7.5 x 10-4 Torr 0.1 Pa Typical shaft seal nitrogen flow 4 slm Inlet connection ISO100 Outle...
