Turbo Pump Maker : EDWARDS Model : STP-XA4503CV(VG350) Condition : A,S급 Quantity : 문의 Unit Price : 문의 Puming Speed : N2 / 4300L/S H2 / 2500L/s Compression ratio : N2 / >10⁸ H2 / 6 X10³ Ultimate pressure : 10-7 Pa 에드워드터보펌프 STP-XA4503CV 정보 STP-XA4503CV 개요 Edwards의 STP-XA4503CV 모델은 STP-XA4503C 시리즈에 속하는 고성능 터보분자펌프로, 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 고진공을 유지하는 데 사용됩니다. 이 펌프는 5축 자기부상 베어링(Magnetic Levitation Bearing) 기술을 적용하여 높은 신뢰성과 낮은 유지보수 비용을 제공합니다.
주요 특징 (Key Features) 1. 5축 자기부상 베어링 기술 비접촉 방식으로 로터(회전체)가 회전하여...