반도체 공장 PCW, DI, 배기, 배수 시스템

PCW(process cooling water) 시스템 반도체 공정에 있는 수많은 종류의 주 제조 장비와 보조 주변 장비들을 사용하게 되면 장비에서 열이 많이 발생하며 특히, 확산로(diffusion furnace)나 CVD(chemical vapor deposition) 장비의 경우는 더욱 그렇다. 이렇게 장비에서 발생한 열을 회수하기 위한 냉각수를 공급하는 장치를 PCW라고 한다.

PCW를 만드는 공급 시스템에서 각 장비 또는 보조 주변 장비들로 PCW를보내고 장비에서 순환되어 냉각시킨다. 장비의 열을 회수한 다음 다시 PCW 시스템으로 보내지고 냉각된 후 순환 펌프에 의해 또다시 장비로 순환되는 구조로 되어 있다.

PCW 시스템은 고순도의 필터링 된 물을 12~18의 일정한 온도로 유지되도록 열교환기로 열교환한 후 탱크에 저장하여 펌프로 가압하여 필터를 거쳐 제조 장비로 보내진다. 장비별로 요구되는 PCW 압력은 장비에 따라 차이가 나므로 장비 인입단에서 레귤레이터를 사용하여 ...