Plasma의 이해 Plasma는 고체, 액체, 기체와 함께 물질의 상태를 나타내는 용어이다. 통상 고체, 액체, 기체가 원자 또는 분자들 간의 결합 구조나 결합력으로 구성과 성질이 바뀐다고 한다면, plasma는 원자 또는 분자가 전자를 잃거나 전자가 기존의 궤도를 벗어나서 물질이 활성화 된 상태를 의미한다.
또한, 궤도를 벗어난 전자가 원래의 궤도로 돌아오면서 고유한 파장이 발생하게 되는데 이를 빛의 파장 또는 광자라고 한다. Gas의 종류나 되돌아오는 궤도의 레벨에 따라서 빛의 파장이 다양하다.
가시광선 영역의 파장을 방출하면 사람이 눈으로 인지할 수 있는 빛이 되기도 하고, 사람의 눈으로 볼 수 없는 자외선 또는 적외선을 방출하기도 하는데 경우에 따라서는 극초단파를 방사하여 인체에 유해할 수 있다고 알려져 있기도 하다. 어느 쪽이든 전용 sensor로 확인이 가능하다.
반도체 장비의 chamber 안에서의 plasma 자연 상태에서의 plasma는 중성으로 알려져 있다. Pl...
원문 링크 : 반도체 플라즈마(Plasma)의 이해, RF system(RF generator, RF matching system), 진공계, MFC(Mass Flow Controller)
