반도체공장 CDA 제조방법, 질소 용도(Bulk Gas)

CDA(compressed clean dry air) 반도체 공장에 있는 제조 장비를 가동하기 위해서는 공기압력(pneumatic)을 사용하는데 이 러한 장비에는 여러 종류의 밸브가 사용되고 있는데, 그중 대표적인 것이 공압 밸브(pneumatic valve)이다. 이 공압 밸브 구동에 사용되는 가스가 CDA이다.

CDA란 먼지, 수분 등을 제거하여 불순물이 거의 없도록 정제 과정을 거친 압축 공기를 말한다. CDA를 제조하는 시스템은 압축기(compressor)를 사용하여 공기를 압축한 후 고온의 압축된 공기를 공랭식 후부 냉각기에서 냉각 및 건조하여 리시버 탱크(receiver tank)를 거쳐 맥동 없는 균일한 공기를 만든 후 냉동식 및 흡착식 공기 드라이어(air dryer)를 통하여 공기의 수분을 완벽하게 제거한 다음 최종적으로 필터를 통하여 먼지나 불순물이 없는 청정하고 건조한 공기를 제공하게 한다.

이후 배관을 통하여 장비에 CDA가 공급되는데, 장비에서는 해당 장비에 ...