안녕하세요 여러분! 이번 시간에는 반도체 노광공정에서 사용하는 광원에 대해서 알아보겠습니다.
최근에 다녀온 세미콘 전시회에도 그렇고 노광공정 관련 자료를 보게 되면 i-Line , KrF, ArF 등의 단어가 나오는데 노광 공정에 대해 잘 모르는 경우 i-Line라는 단어를 보았을때 상당히 난감합니다. 사실 광원에 대해서 대략 알아도 전시회 가서 관련 자료를 보면 어렵긴 합니다.
최초의 노광 장비의 경우 광원으로 수은램프[Hg-Xe Lamp]를 이용하였습니다. MUV 라고 하며 Mid UV의 약자입니다.
파장대는 아래와 같은 영역입니다. MUV 광원 파장 1980년 대부터 1990년 대 초반까지 캐논이나 니콘과 같은 노광기 업체의 전성기였기도 합니다.
MUV 광원의 종류 니콘의 i-Line 노광기입니다. 니콘 홈페이지 발췌 캐논의 경우 아래와 같이 전공정용과 후공정용 노광장비를 다양하게 생산하였습니다.
캐논 홈페이지 발췌 ASML의 i-Line 노광기입니다. ASML홈페이지 발췌 패...
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원문 링크 : 노광공정에서의 광원
