FA Design :: 피에조 스테이지 Piezo Stage 피에조 스테이지[Piezo Stage] 압전소자와 변위 측정 센서를 조합하여 1nm의 초정밀 위치 결정을 할 수 있도록 만든 스테이지입니다. 일반적인 외형은 아래 이미지와 같습니다.
일반적인 스테이지의 형태와는 다르게 리니어 가이드가 없습니다. 나노미터급의 위치결정에 있어서 일반적인 리니어 가이드에서 문제가 되지 않는 백래쉬나 마찰등의 영향이 상대적으로 큰 값이 되어 무시할 수 없게 됩니다.
피에조 스테이지에서는 탄성 변형을 이용한 안내기구를 사용하고 있습니다. 아래 이미지와 같이 탄성 힌지 구조로 하여 리니어 가이드 역할과 압전소자에 인장력을 가하는 스프링의 역할을 할수 있는 구조로 되어 있습니다.
Piezo Stage 를 검색해보면 직접구동기구와 변위확대기구의 두 가지 타입이 있습니다. 간략한 구조를 그림으로 나타낸 것입니다.
내부 변위 센서는 동일하지만, 압전소자의 위치가 다릅니다. 직접 구동을 하는 타입과 지렛대 원...
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piezo
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압전소자
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압전스테이지
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피에스스테이지사용법
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피에조
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피에조스테이지
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피에조스테이지설치방향
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피에조스테이지주의점
원문 링크 : Piezo Stage
![Vacuum Angle Valve[앵글밸브]](https://mblogthumb-phinf.pstatic.net/MjAyMDEwMjNfMTYw/MDAxNjAzNDAxNjI4NTA1.L6NZiQWVQMbSbNDLLbESRG2DqruY2p3QfIt9DuZYSZkg.uiB4pbsg8dz4rOi5O3TBgFe6L1QMoTOUJCdZv0zyGmkg.PNG.fillnet/image.png?type=w2)
