안녕하세요 여러분! 정밀한 Alignment 에 필요한 요소 중 하나인 피코모터 액추에이터 [Picomotor Actuator]에 대해서 알아보겠습니다.
일반적으로 정밀한 Alignment 필요한 경우 즉 나노미터급으로 제어가 필요한 경우에는 압전소자를 이용한 피에조 스테이지를 많이 사용합니다. 피에조 스테이지[Piezo Stage] 관련해서는 기존에 소개드린 적이 있습니다.
Piezo Stage 피에조 스테이지[Piezo Stage] 압전소자와 변위 측정 센서를 조합하여 1nm의 초정밀 위치 결정을 할 수 ... blog.naver.com 피에조 스테이지의 경우 높은 정밀도를 요구하는 솔루션에서는 최적이지만 가격이 매우 고가이고 실제 스트로크가 너무 짧아서 적용하기 힘든 경우가 많습니다. 스트로크도 길고 정밀도도 높은 제품을 찾다가 최근에 알게 된 제품이 바로 피코모터[Picomotor]입니다.
피코모터? Picomotor?
피코모터라는 명칭은 일반적으로 제품명은 아니고 Newpo...
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원문 링크 : Picomotor
