[Analysis] XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy): X선 광전자분석법

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오늘의 분석은 "XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy): X선 광전자분석법_표면분석" 입니다. XPS의 원리 XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy 진공상태에서 일정한 에너지를 가진 X-ray를 시료에 조사 → 시료에 조사된 X-ray로 인해 표면 원자로부터 광전자 방출 → 방출된 광전자의 운동에너지를 측정 → 측정된 운동에너지를 이용하여 광전자의 결합에너지 계산 (*결합에너지: 원자핵에 결합된 내각 전자를 방출시키는데 필요한 에너지) 표면분석 X-ray는 시료의 1마이크로 미터 깊이만큼 조사되지만, 광전자는 시료의 10나노미터 깊이의 표면에 있는 광전자만 방출 XPS: Surface sensitive → 표면 분석에 사용 전자의 결합에너지 결합에너지(Binding Energy, EB): Core level부터 Fermi level의 차이 일 함수(Work function, e Φ sp...

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