#헤드라인: SK하이닉스 “EUV 공정 난제, 3대 난제는 조사량.결함.PR” ‘세미콘 코리아’서 해결책 발표 1. 탄탈룸 활용 ‘attPSM’- 빛 노출 장기화로 인한 생산성 문제 극복 2.
투과율 88% 이상 ‘펠리클’ - EUV 마스크 위에 덮개 씌워 오염방지 3. 무기물 기반 ‘포토레지스트’ - 광자 흡수 높여 균일한 회로 각인 도모 https://www.etnews.com/20210209000153 SK하이닉스 "EUV 공정 난제, 새로운 대안으로 해결해 나갈 것" SK하이닉스가 첨단 극자외선(EUV) 공정 난제를 해결하기 위한 다양한 솔루션을 제시했다.
생산성 문제를 해결할 수 있는 위상차마스크(PSM), EUV 마스크 덮개 역할을 하는 펠리클, 좁은 회로를 반듯하고 균일하게 찍... www.etnews.com #기사본문: SK하이닉스가 첨단 극자외선(EUV) 공정 난제를 해결하기 위한 다양한 솔루션을 제시했다. 생산성 문제를 해결할 수 있는 위상차마스크(PSM), EUV...
![[경제신문스크랩]SK하이닉스 “EUV 공정 난제, 3대 난제는 조사량.결함.PR”](https://blogimgs.pstatic.net/nblog/mylog/post/og_default_image_160610.png)
#
기사본문
#
본문내
#
연관기사
#
요약
#
적용할
#
첫글
#
추가
#
헤드라인
![[싱가포르]송파 바쿠테](https://mblogthumb-phinf.pstatic.net/MjAyMjEyMjZfMjQz/MDAxNjcxOTg0Nzk5OTQ1.uMzx3IL1cI5K-36I4opWyo3E40AJdS46dKjBrw809KAg.efyAm_sAcRhbxCoqJS6vTw-WnnAOD4gUBzRL-laGhasg.JPEG.88tkeks/20221225%A3%DF194026.jpg?type=w2)
![[싱가포르NUS]일본-돼지육스누들](https://mblogthumb-phinf.pstatic.net/MjAyMjEyMzFfMSAg/MDAxNjcyNDYzNzg2MTg4.ccvubv1Mou3cbTiY49Zsy43_sgH3jUYvnWeNH0S_tE8g.XxB8MsrSEpqEamNb1eoqKCVNAIMklMDIAWw-DHprC_og.JPEG.88tkeks/20221229%A3%DF123531.jpg?type=w2)
![[싱가포르NUS]실패 없는 중국요리-궁바오 치킨](https://mblogthumb-phinf.pstatic.net/MjAyMzAxMDRfMTQz/MDAxNjcyODA3MjY2NTIz.hGrMO_e-ZW5wj_gDydc3XKA7Fdi7ZLJz_sv8YBoRy_og.AP7TjOP-9yxGFIh6iDKUVdMM1EbrpHylRDYY1DmSXkMg.JPEG.88tkeks/20230104%A3%DF121323.jpg?type=w2)