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[라이모션] UHV Rotation Stage 진공 스테이지

 [라이모션] UHV Rotation Stage 진공 스테이지

VSM17-R-72K는 Arun Microelectronics Ltd(AML)의 High-performance UHV rotation stage로 0.005 분해능, 100kg의 부하 용량 및 360 연속 회전의 스펙을 갖추었다. 10mbar의 극한 환경에서도 사용 가능한 정밀 모션 시스템 설계 및 제어기술을 바탕으로 고정밀 엔코더를 통합해 반복 정밀도를 높이고 정교한 진공 애플리케이션에 적합하다. * Travel Range : 360 rotation range * Resolution : 0.005 resolution * Maximum torque of up to 8 Nm * Suitable for use to 1 x 10-10 mBar Technical Specification 문의는 홈페이지 또는 메일로 문의 주시기 바랍니다. Web : www.limotionsystems.com Email : [email protected]...

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