![[라이모션] UHV X Stage 진공 스테이지](https://mblogthumb-phinf.pstatic.net/MjAyNDAzMDdfNDAg/MDAxNzA5Nzk4MDU5OTY5.krlVBN5wiwUGvyO-h1tQiV8M5JBChRN81z-pjpbhTEEg.d_WWF0pmPdiVMdjOVM-AKWg5pTk4AE3oJcElTa16becg.PNG/VSM23-X-100_1_wo_BG.png?type=w2)
UHV 스테이지는 10mbar의 극한 환경에서도 사용 가능한 정밀 모션 시스템 설계 및 제어기술을 바탕으로 고정밀 엔코더를 통합해 반복 정밀도를 높이고 정교한 진공 애플리케이션에 적합하다. * Linear Travel Range : 100 to 450 mm * Resolution : 5 µm (1 µm for option HR) * Maximum speed : 25 mm/s (5 mm/s for option HR) * Suitable for use to 1 x 10-10 mBar Technical Specification 문의는 홈페이지 또는 메일로 문의 주시기 바랍니다. Web : www.limotionsystems.com Email : [email protected]...
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