안녕하세요! 산업 현장의 문제를 해결하고 더 나은 미래를 만들어가는 (주)플롯퍼실리티스입니다.
오늘은 반도체 제조 공정에서 없어서는 안 될 중요한 장비, 히팅자켓 컨트롤러에 대해 자세히 알아보겠습니다. 히팅자켓, 왜 필요할까요?
반도체 제조 과정에서 발생하는 부산물(By-product)은 진공 배관을 통해 배출하게 되는데요, 특히, 챔버에서 드라이펌프로 이어지는 배관은 좁은 구조로 되어 있어 부산물이 쉽게 쌓여 막힐 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 사용되는 것이 바로 히팅자켓입니다.
히팅자켓은 배관을 감싸 온도를 높여 부산물이 배관 벽에 달라붙는 것을 방지하고, 원활한 배기가 이루어지도록 돕습니다. 진공 밸브에 쌓인 By-product 히팅자켓이 고장 나면 어떤 문제가 발생할까요?
By-product이 쌓이게 되면 배관 교체를 해야 하는데요, 교체 작업에 난이도가 있기도 하지만, 수십수백억 원 하는 장비를 Down 상태로 둔다는 것이 반도체를 제조하는 기업에게는 시간과 비...
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