[반도체 기초] BOE 용액이란?

안녕하세요. 이전 세정용액을 설명드리면서 BOE(Buffered Oxide Etchant) 용액에 대해서 설명을 드렸었는데요.

최근 BOE 용액을 검색하셔서 방문하시는 분들이 많아서 BOE 용액에 대해서 좀 더 자세하게 설명을 드리는 시간을 갖도록 하겠습니다. SiOx만을 선택적으로 제거하는 용액이기 때문에 실제 반도체 공정에서도 매우 중요한데요.

오늘 잘알아보시고 여러분의 미래에 도움이 되었으면 좋겠습니다. BOE 용액이란?

공정 업무를 하다 보면 Si은 두고 SiOx만을 제거하는 공정이 필요한 경우가 많은데요. 그 이유는 SiOx가 게이트 절연막, 마스크층, 보호막, 층간 절연막 등 여러 역할을 하기 때문입니다.

특히 저와 같은 TD에서는.... 새로운 공정 그리고 새로운 구조가 필요한 경우가 많은데요.

그래서인지 매우 익숙한 용액이라고 할 수 있습니다. 조금 더 화학적인 반응에 대해서 공부를 한 분이시라면 HF를 쓰면 되는거 아니야?

라고 생각 할 수 있는데요. 사실 BOE가 ...