sputtering

고체는 에너지를 얻으면 액체가 되고, 액체는 기체가 된다. 그리고 기체가 에너지를 얻으면 제4의 상태인 플라즈마 상태가 되는데, 이때의 에너지는 매우 높은 에너지로써 열에너지를 인가할 때 약 섭씨 10만도(표면 온도 섭씨 6천도) 정도의 에너지를 인가한다.

이는 지구상에서는 불가능한 조건이다. 그러나 압력을 낮추면 낮은 전압으로도 플라즈마 상태를 얻을 수 있고, 이는 파센곡선(Paschen’s Curve)의 임계점을 따라 플라즈마 방전개시 전압이 설정된다.

플라즈마의 입자들은 전자, 양이온, 라디칼로 구성되는데, 라디칼은 전기적으로 중성을 띤다. 특히 전자와 양이온은 각각 클러스터를 형성하는데, 전자와 양이온의 전기적인 전하량이 같으므로 플라즈마 전체적으로는 전기적으로 중성을 띠게 된다.

이러한 플라즈마의 특성에 의해서 플라즈마 내부에서는 고속으로 운동하는 대전입자의 관성과 전기적 인력 사이에서 줄다리기가 일어나는데, 이는 용수철 진자와 비슷한 모습이다. ...