등록특허 10-0298869 (19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 。Int.
Cl.6 H01L 21/304 (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2001년10월29일 10-0298869 2001년06월04일 (21) 출원번호 10-1999-0020641 (65) 공개번호 특2001-0001425 (22) 출원일자 1999년06월04일 (43) 공개일자 2001년01월05일 (73) 특허권자 엘지.필립스 엘시디 주식회사 구본준, 론 위라하디락사 서울 영등포구 여의도동 20번지 (72) 발명자 김정진 경상북도칠곡군약목면복성리오성아파트101-1216호 박일룡 경상북도구미시진평동642번지엘지엘시디사업본부 최해주 경상북도구미시진평동642번지엘지엘시디사업본부 (74) .....
