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이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치(Manufacturing Apparatus for Microstructure with Dual Aspect Ratio)

 이중 고폭비를 갖는 마이크로 구조물의 제조장치(Manufacturing Apparatus for Microstructure with Dual Aspect Ratio)

(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2011년09월29일 (11) 등록번호 10-1068844 (24) 등록일자 2011년09월23일 (51) Int. Cl.

B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) B29C 33/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0000648 (22) 출원일자 2009년01월06일 심사청구일자 2009년01월06일 (65) 공개번호 10-2010-0081418 (43) 공개일자 2010년07월15일 (56) 선행기술조사문헌 US07201863 B1* US20050277244 A1* *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 국방과학연구소 대전 유성구 수남동 111번지 (72) 발명자 .....