(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2016년08월24일 (11) 등록번호 10-1650488 (24) 등록일자 2016년08월17일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/02 (2006.01) B01D 46/42 (2006.01) B01D 46/44 (2006.01) H01L 21/60 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) (52) CPC특허분류 H01L 21/02046 (2013.01) B01D 46/42 (2013.01) (21) 출원번호 10-2015-0120014 (22) 출원일자 2015년08월26일 심사청구일자 2015년08월26일 (56) 선행기술조사문헌 JP2009050747 A* KR1020070105335 A*.....
