(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2015년07월24일 (11) 등록번호 10-1539294 (24) 등록일자 2015년07월20일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 29/786 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01) (21) 출원번호 10-2014-0012245 (22) 출원일자 2014년02월03일 심사청구일자 2014년02월03일 (56) 선행기술조사문헌 논문(2013.08)* KR1020130093922 A KR1020110039772 A KR1020080074515 A *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 한국해양대학교 산학협력단 부산광역시 영도구 태종로 727 (동삼동, 한국해양 대학교) (72) 발명자 .....
