(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2016년12월23일 (11) 등록번호 10-1689428 (24) 등록일자 2016년12월19일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/304 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-0129861 (22) 출원일자 2013년10월30일 심사청구일자 2016년06월17일 (65) 공개번호 10-2014-0056074 (43) 공개일자 2014년05월09일 (30) 우선권주장 JP-P-2012-240394 2012년10월31일 일본(JP) JP-P-2012-242951 2012년11월02일 일본(JP) (56) 선행기술조사문헌 US5839947 A US6284092 B1 JP평성12280165 A JP평성.....
