(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2016년12월20일 (11) 등록번호 10-1688230 (24) 등록일자 2016년12월14일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 51/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0063590 (22) 출원일자 2010년07월01일 심사청구일자 2015년04월03일 (65) 공개번호 10-2012-0002865 (43) 공개일자 2012년01월09일 (56) 선행기술조사문헌 US07405326 B2* US20070075635 A1 KR1020100070992 A KR1020100070979 A *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 동우 화인켐 주식회사 전라북도 익산시 약촌로 132 (신.....