(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2016년03월30일 (11) 등록번호 10-1607737 (24) 등록일자 2016년03월24일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 27/146 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-7025687 (22) 출원일자(국제) 2011년11월17일 심사청구일자 2014년06월20일 (85) 번역문제출일자 2013년09월27일 (65) 공개번호 10-2014-0020947 (43) 공개일자 2014년02월19일 (86) 국제출원번호 PCT/JP2011/076558 (87) 국제공개번호 WO 2012/132099 국제공개일자 2012년10월04일 (30) 우선권주장 JP-P-2011-072364 2011년03월.....
