(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2016년11월23일 (11) 등록번호 10-1678811 (24) 등록일자 2016년11월17일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
G01F 1/84 (2006.01) G01F 15/02 (2006.01) G01F 25/00 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-7024986 (22) 출원일자(국제) 2011년02월23일 심사청구일자 2015년03월31일 (85) 번역문제출일자 2013년09월23일 (65) 공개번호 10-2014-0010085 (43) 공개일자 2014년01월23일 (86) 국제출원번호 PCT/US2011/025927 (87) 국제공개번호 WO 2012/115639 국제공개일자 2012년08월.....
