(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2012년09월19일 (11) 등록번호 10-1181406 (24) 등록일자 2012년09월04일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
F24J 2/46 (2006.01) F24J 2/52 (2006.01) H01L 31/042 (2006.01) (21) 출원번호 10-2008-0115768 (22) 출원일자 2008년11월20일 심사청구일자 2008년12월02일 (65) 공개번호 10-2010-0056792 (43) 공개일자 2010년05월28일 (56) 선행기술조사문헌 JP2001049832 A* KR1020050042314 A* *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 주식회사 만상 인천광역시 서구 당하동 당하.....
