(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2014년05월27일 (11) 등록번호 10-1398061 (24) 등록일자 2014년05월15일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
B23Q 3/18 (2006.01) B23Q 1/28 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) (21) 출원번호 10-2012-0123898 (22) 출원일자 2012년11월05일 심사청구일자 2012년11월05일 (65) 공개번호 10-2014-0057758 (43) 공개일자 2014년05월14일 (56) 선행기술조사문헌 JP10154012 A* JP2010058174 A* JP57033941 A JP61230835 A *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 주식회.....
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