(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2011년09월28일 (11) 등록번호 10-1067737 (24) 등록일자 2011년09월20일 (51) Int. Cl.
H01L 21/302 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01) (21) 출원번호 10-2009-0069535 (22) 출원일자 2009년07월29일 심사청구일자 2009년07월29일 (65) 공개번호 10-2011-0012016 (43) 공개일자 2011년02월09일 (56) 선행기술조사문헌 JP2006192360 A* KR1020070107597 A KR1020090051735 A *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 김현희 경기도 화성시 향남읍 행정리 494 향남시범살구꽃 마을.....
