(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2013년10월08일 (11) 등록번호 10-1316749 (24) 등록일자 2013년09월30일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/205 (2006.01) (21) 출원번호 10-2007-0022754 (22) 출원일자 2007년03월08일 심사청구일자 2011년12월28일 (65) 공개번호 10-2008-0082222 (43) 공개일자 2008년09월11일 (56) 선행기술조사문헌 KR100378871 B1* KR1020070011670 A* *는 심사관에 의하여 인용된 문헌 (73) 특허권자 주식회사 원익아이피에스 경기도 평택시 진위면 청호리 332-1 (72) 발명자 박상준 경기도 용인시 수지구 죽전로.....
