(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2012년07월11일 (11) 등록번호 10-1164128 (24) 등록일자 2012년07월03일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
C23C 18/50 (2006.01) H05B 3/02 (2006.01) C23C 18/22 (2006.01) C23F 1/02 (2006.01) (21) 출원번호 10-2010-0054485 (22) 출원일자 2010년06월09일 심사청구일자 2010년06월30일 (65) 공개번호 10-2011-0134739 (43) 공개일자 2011년12월15일 (56) 선행기술조사문헌 KR100759452 B1 (73) 특허권자 (주)비에이치세미콘 인천 부평구 청천동 442-1 (72) 발명자 장안재 서.....
원문 링크 : 고온용 세라믹 히터 및 그 제조방법(Ceramic heater for high temperature and the manufacturing method of the same)