(19) 대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (45) 공고일자 2013년09월06일 (11) 등록번호 10-1305847 (24) 등록일자 2013년09월02일 (51) 국제특허분류(Int. Cl.)
C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/04 (2006.01) H01L 51/50 (2006.01) H05B 33/10 (2006.01) (21) 출원번호 10-2013-7012567 (22) 출원일자(국제) 2011년12월13일 심사청구일자 2013년05월15일 (85) 번역문제출일자 2013년05월15일 (65) 공개번호 10-2013-0066706 (43) 공개일자 2013년06월20일 (86) 국제출원번호 PCT/JP2011/078749 (87) 국제공개번호 WO 2012/.....
