(19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 。Int.
Cl. H01L 21/3065 (2006.01) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2006년03월22일 10-0539622 2005년12월22일 (21) 출원번호 10-1997-0062929 (65) 공개번호 10-1998-0042744 (22) 출원일자 1997년11월26일 (43) 공개일자 1998년08월17일 (30) 우선권주장 8-315885 1996년11월27일 일본(JP) (73) 특허권자 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 일본국 도쿄토 치요다쿠 마루노우치 1초메 6반 6고 (72) 발명자 가즈미 히데유키 일본국 이바라키켄 히다치시 나카나루사와쵸 2-6-6-105 데츠카 츠토무 일본국 이바라키켄 니하.....
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