(19)대한민국특허청(KR) (12) 등록특허공보(B1) (51) 。Int.
Cl. H01L 21/68 (2006.01) (45) 공고일자 (11) 등록번호 (24) 등록일자 2006년05월25일 10-0583521 2006년05월18일 (21) 출원번호 10-2005-0000955 (65) 공개번호 (22) 출원일자 2005년01월05일 (43) 공개일자 (73) 특허권자 삼성에스디아이 주식회사 경기 수원시 영통구 신동 575 (72) 발명자 한상진 경기도 수원시 팔달구 인계동 한신아파트 107동 306호 송관섭 경기도 수원시 팔달구 영통동 벽적골9단지(901∼936동)910동1703호 정석헌 경기도 용인시 기흥읍 서천리 SK아파트 106동 1402호 강희철 경기도 수원시 팔달구 영통동 벽적골9단지아파.....
